本實用新型公開了一種超聲波噴霧微波管式爐,屬于噴霧熱解法制備氧化物薄膜與粉末冶金領域。本實用新型所述超聲波噴霧微波管式爐包括空氣壓縮泵、轉子流量器、超聲波噴霧器、超聲波造霧振動盤、霧滴、石英玻璃導管、石英玻璃管、微波加熱裝置、微波發生器、石英玻璃片、輔助加熱材料、保溫材料、粉體緩沖沉降瓶、粉體、粉體收集瓶、第一級堿液吸收尾氣裝置、第二級堿液吸收尾氣裝置;本實用新型工藝過程操作簡單,成本低廉,合理的利用物料,與傳統法噴霧法在高溫玻璃片寸底相比減少了物料的浪費。創造了通過超聲波噴霧熱解法與微波管式加熱爐聯合同時制備ITO薄膜與粉體的可能。
聲明:
“超聲波噴霧微波管式爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)