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離子質量數監控及鎖定裝置

966   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:22
一種能夠對離子的質量數加以顯示、控制和 準確鎖定的裝置。其鎖定精度在1-75a·m·u 范圍內為±0.2a·m·u：在75-122a·m·u 范圍內為±0.3a·m·u，從而能作到雙電荷、 三電荷離子的注入鎖定。將它安裝在離子注入機 上，能夠保證離子注入時摻雜的純度、精密度和 重復精度，有效地提高了集成電路芯片的成品率。 該裝置還可用于需要對離子質量數進行監控和鎖 定的冶金、金屬加工以及超導研究等方面。
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