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鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法

966   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:21
本發明公開了一種鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法，將鉬粉和鈦粉裝進三維混料機中，充入氬氣，使兩種粉末在氬氣氣氛中充分混合，得到鉬鈦合金粉末；將鉬鈦合金粉末放入模具中冷等靜壓得到預成形坯；將預成形坯抽真空后在氦氣氣氛下燒結，得到燒結毛坯，最后經過機加工后即得。本發明鉬鈦合金濺射靶材板的制備方法，采用傳統粉末冶金方法，同時在燒結過程中抽真空并通入保護氣氛氦氣，使得制備得到的鉬鈦合金濺射靶材板，可以直接生產滿足現需求的大尺寸濺射靶材，產品質量得到保證，且該方法成本較低，基本無廢料，無污染，可以使鉬鈦合金濺射靶材板的成本顯著降低。
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