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基于軸向磁場耦合機械振動制備太陽能級多晶硅的方法

834   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:19
一種基于軸向磁場耦合機械振動制備太陽能級多晶硅的方法，將冶金硅表面酸洗、蒸餾水清洗，干燥，裝進高純石英坩堝內，并放入定向凝固爐中，抽真空；將爐溫升至1200～1350℃，保溫；向爐腔充入惰性氣體；將爐溫升至1500～1650℃，保溫；得到硅熔體；將硅熔體溫度降至1420～1570℃；引入軸向磁場和機械振動到硅熔體中；將坩堝以1～20μm/s的速率抽拉出加熱區，開始長晶；長晶結束后，關閉勵磁系統和停止機械振動，將溫度降至1000～1300℃；關閉加熱系統，隨爐冷卻。本發明得到的多晶硅材料組織中硅晶粒粗大且垂直于坩堝底部，缺陷少，雜質含量低；工藝成本低、簡單；安全可靠、無污染；操作方便。
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“基于軸向磁場耦合機械振動制備太陽能級多晶硅的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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