本實用新型屬于冶金提純技術領域,特別涉及一種石英管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備。該設備外壁上安裝有通氣管路和尾料收集箱,水冷盤活動安裝于真空腔室底部,石墨板置于水冷盤頂端,石墨支柱一端通過孔與石墨板嵌套連接,另一端與石墨托盤嵌套連接,坩堝置于石墨托盤之上,石墨發熱體套于坩堝外圍,碳氈保溫桶套于石墨發熱體之外,石英管活動安裝于真空腔室頂端,且其下端穿過碳氈保溫蓋置于坩堝正上方中心位置,石英管上端封閉,下端開口。本實用新型的設備是在原有定向凝固設備的基礎之上增加通氣管道、石英管和尾料收集箱,設備改造安裝方便,操作簡單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質,節約了生產周期和成本,適用于工業化大規模生產。
聲明:
“石英管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)