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在鈦合金表面制備鉭擴散層的方法

977   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:51:07
本發明公開了一種在鈦合金表面制備鉭擴散層的方法,屬于材料表面改性技術領域。該方法利用等離子表面冶金技術,通過對靶材形狀、源/工件極間距以及滲金屬溫度進行優化,使得源極濺射率及元素利用率達到最佳,滲鉭結束后關閉源極及陰極電源、機械泵,通入大量氬氣快速冷卻,促使內應力得到快速釋放,最終采用常規物理方法去除沉積層,得到表面含鉭擴散層的鈦合金。該方法制備的樣品耐磨性、硬度均有顯著提高,擴散層與基體結合強度高,并且具有操作簡便、重復性好、成本低廉的特點因此可廣泛應用于鈦合金表面改性。
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