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鉭靶材的制備工藝

1124   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:01
本發明提供了一種鉭靶材的制備工藝，包括以下步驟：A)，將鉭粉進行等靜壓成型，得到鉭坯；B)，將所述鉭坯進行燒結，將燒結得到的鉭坯進行軋制，將軋制得到的鉭坯進行熱處理，得到鉭靶材。本發明通過粉末冶金的方法制得了鉭靶材加工坯料，其優點是內部組織細小均勻，并得到了無織構的內部組織；再通過壓力加工工藝與熱處理工藝，獲得了細小且均勻一致的內部組織，得到了滿足高端濺射機臺使用的鉭靶材要求。
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聲明：
“鉭靶材的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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