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選擇性發射極的制備方法及太陽能電池的制備方法

823   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:34
本發明公開了一種選擇性發射極的制備方法，包括：S01、對制絨后的N型硅片的正面進行硼擴散；S02、去除硼硅玻璃；S03、在硅片正面絲網印刷納米硼漿，并烘干；S04、利用皮秒激光進行納米硼漿推進，在硅片的電極區域形成選擇性重摻雜；S05、去除殘留的納米硼漿。本發明采用絲網印刷納米硼漿，并借助皮秒激光摻雜設備實現硅片的電極區域的納米硼漿的激光推進，可以選用能量較低的皮秒激光進行推進，減少了激光推進對硅基體的損傷，也方便更好的控制推進程度，使硅片與電極接觸區域達到預期的方阻值，提高了電池性能，很好地彌補了選擇性發射極與P型PERC電池工藝結合的缺陷。并且，納米硼漿通過激光熔覆后更容易同基體材料形成良好的冶金結合。
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