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多級壓力快速燒結爐及其使用工藝

732   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:32
本發明公開了一種多級壓力快速燒結爐及其使用工藝，涉及冶金技術及芯片封裝互連技術領域。本發明的的多級壓力快速燒結爐摒棄了傳統燒結爐使用抽氣裝置抽除爐內空氣，創新性地提出了通過液壓系統直接往燒結爐內通液壓油的方式排除燒結爐內空氣的方法，通過使用液體(液壓油)作為力傳導介質不僅可以使樣品承受穩定壓力，避免加壓過程中樣品燒結層的破壞，且液體的導熱率遠遠大于氣體，能實現爐內快速升溫，且本發明的多級壓力快速燒結爐可靈活放置多個工作臺，能夠實現同時對多個樣品進行燒結，并且通過節流閥，能使多個液壓腔的壓力從上至下依次遞減，從而實現了對不同壓力需求的多樣品進行多級壓力快速燒結。
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“多級壓力快速燒結爐及其使用工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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