本發明公開了冶金技術技術領域一種用高溫氮氣保護推板窯生產高純氮化硅粉的工藝方法,將高純硅粉研磨至200目以上,將高純硅粉與粘結劑混合攪拌后通過成型機進行成型造粒;將成型的高純硅粒放入坩堝中送入推板窯進行連續生產;高純硅粒先經過預熱區預熱,再緩慢經過進入氮化區,壓縮氮氣通過從降溫區往預熱區逆向進入,可以進行充分滲氮,最后燒結后的產品進入冷卻區;研磨成高純氮化硅粉;本發明用高溫氮氣保護推板窯生產出來的產品純度高,質量穩定。因是連續化生產,人工成本低,單位能耗少,產量大。用氮化硅坩堝盛放,氮化硅球球磨不引入其他雜質。
聲明:
“用高溫氮氣保護推板窯生產高純氮化硅粉的工藝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)