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揮發性渣氣協同提純多晶硅的方法

1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:29
本發明涉及一種提純多晶硅的方法，具體涉及一種揮發性渣氣協同提純多晶硅的方法，屬于冶金技術領域。本發明解決的技術問題是提供一種揮發性渣氣協同提純多晶硅的方法。該方法包括如下步驟：a、將原料硅與揮發性渣系造渣劑混合，在惰性氣體氛圍中加熱至熔融，得到熔體；b、在熔體中吹入氨氣混合氣體，并保溫反應60～120min，然后冷卻、硅渣分離，得到提純后的多晶硅。本發明方法，采用揮發性渣氣協同提純多晶硅，在多晶硅提純過程中實現了氯化氧化氮化的協同作用，可在較短的處理時間內大幅度降低硅中硼雜質，進而大幅降低提純能耗。
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