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直排大氣的多級羅茨干式真空泵

1192   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:26
本發明涉及真空泵技術領域,特別是一種直排大氣的多級羅茨真空泵。該泵具有主從動軸、主從動轉子、主從動齒輪,主動齒輪、主動轉子安裝在主動軸上,從動齒輪、從動轉子安裝在從動軸上,泵體采用多級相連結構,隨轉子級數不同分有多個相對獨立的泵腔,每兩個泵腔之間有級間隔板分開,并通過級間氣流通道相連。本發明解決現有技術中一次性投入大、加工難度大、極限真空低、消耗功率大、不能直排大氣、不能用于IC裝備的不足。本發明在抽氣過程中可保持真空環境不受污染,適用于半導體、石化、冶金、食品、醫藥、電子、包裝、印刷等行業。
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