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電弧蒸發金屬靶材、金屬間化合物靶材和陶瓷靶材以制造Al-Cr-N涂層

1068   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:20
本發明涉及借助粉末冶金制造的靶的電弧蒸發，其中成分以金屬間化合物的形式存在。為了靶制造而采用以下粉末，該粉末包含第一金屬間化合物和第二金屬間化合物和/或第一陶瓷化合物和第二陶瓷化合物。
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