本發明涉及通過金屬和合金的熱蒸發進行真空 淀積的方法和設備。所提供的設備(圖1)包括具有熔融材料(液 態金屬)(2)的熔化坩堝(1)、位于真空室(5)中的蒸發設備(4)的一 個或幾個坩堝(3)、熱液態金屬管道(6)，所述液態金屬管道(6) 通過具有靜態熔化壓強的磁流體動力(MHD)回路(7)連接所述 熔化坩堝和所述蒸發坩堝。所述回路(7)設有MHD泵(8)，并包 括液態金屬管道(6)中臨近MHD泵的部分、液態金屬管道(9、 10)和(11)、加熱儲液器(13)。加熱儲液器(13)通過液態金屬管道 (11)連接到液態金屬管道(6)中MHD泵之前的部分，并通過液 體金屬管道(10)連接到安裝在管道(9)中的膨脹箱(12)。儲液器 和膨脹箱中熔體上方的空間通過管道(14)互連并連接到真空泵 系統(未示出)。在膨脹箱中安裝有兩個熔體高度L的傳感器 (15)。膨脹箱中和蒸發器中的熔體水體L要比MHD回路儲液 器中的熔體高度L0高Δh。即， MDH泵需要提供壓強Δh。本發明的技術方案能夠在長期工作 過程中增強金屬與合金蒸發的穩定性，從而提高生產率。本技 術方案可用于電子、冶金、機械加工領域內的各種功能鍍層。 使用本方法能夠蒸發鋅、鎂、隔、鋰、鋅鎂合金。
聲明：
“通過蒸發金屬和金屬合金進行真空淀積的方法和設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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編輯：管理員
來源：中冶有色網
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2025年07月09日 ~ 11日 
