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電鑄晶圓凸塊

1027   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:12
本發明屬于覆晶封裝技術領域，尤其涉及一種電鑄成型于半導體晶片的引腳的電鑄晶圓凸塊，包括IC腳墊和電鑄成型于IC腳墊上的錫鉛凸塊；所述的錫鉛凸塊為多個，厚度為0.02～0.2mm，錫鉛凸塊為100～200個，凸塊間距為100～200μm；錫鉛凸塊由外而內分為錫鉛球本體和球下冶金層；錫鉛球本體為倒置的球形，材料為錫鉛合金，錫鉛球本體的高度為50～80μm。本發明具有的有益效果為：晶圓凸塊采用錫鉛合金材料，制造成本較低；采用電鑄的方法生成晶圓凸塊，生產效率高，凸塊間距較穩定地控制于150μm以下，精度高，能獲得質量穩定的電鑄晶圓凸塊。
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