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新型有序層狀結構Cr/CrxN/MxOy復合阻氚涂層及其制備方法

729   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:09
本發明提供一種新型有序層狀結構Cr/CrxN/MxOy復合阻氚涂層及其制備方法，該涂層由金屬Cr層、金屬氮化物CrxN層、阻氫氧化物MxOy三層有序復合而成。MxOy中M表示不同金屬元素，包括Al、Zr、Er、Y、Cr等阻氚涂層領域常見的金屬元素，且MxOy涂層可表示單元金屬氧化物或者二元、三元等多元金屬氧化物以及他們的混合物涂層。該復合阻氚涂層一方面增加了氚在涂層中的擴散路徑，增加了涂層擴散界面，有效提高了涂層的阻氚性能，另一方面引入金屬Cr層和CrxN，可與基材形成冶金結構，避免薄膜開裂和剝落，明顯提高膜?基結合力，且氮化鉻可有效緩解金屬氧化物與基材熱失配問題，提高涂層的抗熱震沖擊性能。
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