本發明公開了一種高磁性耐磨損的散裂靶靶球及其制備方法。本發明高磁性耐磨損散裂靶靶球,由球芯和由內至外依次包覆在球芯外的磁性層、過渡層和耐磨層構成;球芯為鎢鎳鐵合金球或鈹球。本發明制備方法,包括如下步驟:在球芯外依次包覆磁性層、過渡層和耐磨層,即可得到高磁性耐磨損散裂靶靶球。本發明新型的靶球結構設計,其磁性及耐磨性都得到了大幅提高,相應的靶球提升流量以及靶球的使用壽命也將大大提升,同時減少了粉塵的產生量。本發明制備方法中,利用粉末包覆燒結法制備表面高磁性涂層,其綜合性能更好,表面的鎢與鎳鐵組織具有非常好的潤濕性,高溫熱處理后可在界面處實現冶金結合,結合力高,涂層不易脫落。
聲明:
“高磁性耐磨損的散裂靶靶球及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)