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具有集成式換熱器的反應器在將四氯化硅加氫脫氯方法中的應用

1058   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:02
本發明涉及四氯化硅和氫氣在改進的加氫脫氯反應器中反應生成三氯硅烷的方法。本發明進一步涉及這種改進的加氫脫氯反應器作為設備的組成部分在用于從冶金硅制備三氯硅烷中的應用。
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