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高可靠性熱電器件及制備方法

1202   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:48:01
本發明通過構造納米金屬鍵合層，利用納米效應實現熱電器件低溫冶金鍵合和高溫服役；在鎳金屬層表面制備具有納米孔結構的金屬鎳層，銅金屬層的表面制備鎳納米針錐結構層作為鍵合連接面，不同結構形態的納米鍵合層鍵合后，形成封裝互連界面納米柱形柔性層，用于匹配和吸收器件服役過程中較大熱應力沖擊，降低界面熱應力導致的裂紋損傷，提升熱電器件在高溫服役過程中的可靠性。
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