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鉬合金靶材制備方法、鉬合金靶材和應用

948   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:48:01
本發明屬于粉末冶金技術領域，具體提供一種鉬合金靶材及其制備方法和應用。所述鉬合金靶材的制備方法包括如下步驟：配制原料：按照所述靶材各元素質量配比稱取原料混合，以質量百分數計，所述靶材包括如下成分，Ni：10％～30％，Ti：5％～25％，W：1％～20％和Re：0.5％～5％，余量為Mo和不可避免的雜質，且Mo的質量百分比≥50％；冷等靜壓；熱等靜壓；熱軋；退火。本申請方法制備的靶材塑韌性好，變形能力好，晶粒細小均勻。用本申請制備的靶材濺射沉積的薄膜厚度分布更均勻，可通過濺射方式附著在電子部件用層疊配線膜的主導電層上形成金屬覆蓋層，用于平面顯示器、薄膜太陽能和半導體裝置等。
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