一種檢測金屬原子在非晶合金擴散深度的新方法,首先將非晶合金加工,打磨,在丙酮中進行超聲波清洗和脫脂,放置于磁控濺射鍍膜設備的真空爐中;進行擴散退火熱處理實驗前,鍍膜后的樣品被密封在真空玻璃管內,保溫,擴散退火熱處理之后,試樣快速冷卻至室溫;采用二次離子質譜儀對金屬/非晶合金擴散偶的原子分布情況進行分析,測試過程離子源對樣品進行逐層剝離,通過對二次離子的質量分析,獲得樣品表層元素成分及元素沿縱向深度的分布狀態;將TEM結果相結合,獲得不同原子在非晶合金中擴散濃度與深度的變化曲線;最終可推算出擴散系數,本發明使金屬原子與非晶合金最終達到原子級別的冶金結合,基體并保持非晶態,獲得更為可靠準確的數據。
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