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功率器件結終端結構與制造方法

1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:17
本發明涉及一種功率器件結終端結構與制造方法。所述功率器件結終端結構包括：場限環，其間隔設置于最外側主結的外側；電荷補償區，其通過摻雜間隔形成于外延層，所述電荷補償區貫穿所述最外側主結的靠外側的冶金結面和所述場限環的靠外側的冶金結面，其中所述電荷補償區的導電類型與所述場限環的導電類型相同。這種功率器件結終端結構耐壓能力好、可靠性高。
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聲明：
“功率器件結終端結構與制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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