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散裂靶靶球表面金屬等離子體浸沒離子注入與沉積復合強化處理方法

1043   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:06
本發明涉及粉末冶金技術領域，更具體地公開了一種散裂靶靶球表面金屬等離子體浸沒離子注入與沉積復合強化處理方法，所述強化處理方法包括散裂靶靶球的預處理，TiSiN、TiAlN、TiAlSiN、TiAlSiN/h?BN離子注入與沉積等步驟。本發明解決了粉末冶金技術制備的非金屬間化合物形態的散裂靶鎢鐵鎳靶球磨損率高，薄膜與基體之間殘余應力大、膜基結合力差和單一膜層承載能力差等問題，有效抑制了薄膜表面剝落，并能夠制備出一種高膜基結合力，高硬度、摩擦系數低、耐磨損能力強的梯度功能復合薄膜。
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“散裂靶靶球表面金屬等離子體浸沒離子注入與沉積復合強化處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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