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多晶硅熔煉的復合式加熱方法及裝置

999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:01
本發明一種多晶硅熔煉的復合式加熱方法及裝置屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域,特別涉及一種利用感應線圈和石墨加熱器復合加熱的方式熔煉多晶硅的方法及裝置。本方法同時采用感應加熱和輻射加熱兩種方式對加熱區進行復合式加熱,使硅料熔化并進行熔煉,通過拉錠裝置的運動使熔體脫離加熱區,實現定向凝固。該裝置由真空蓋、真空圓桶構成裝置的外殼,真空圓桶的內腔即為真空室,真空室內裝有進行感應加熱的感應線圈和進行輻射加熱的石墨加熱器。本發明有效地利用了感應加熱的高效性和輻射加熱的穩定性,保證了熔煉過程的穩定,減小了能耗,提高了加熱效率,且該方法簡單易行,適合大規模工業生產。
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