本發明屬于冶金提純技術領域,特別涉及一種反向誘導凝固的方法及設備。該方法在真空環境中,將洗凈的硅料加熱至完全熔化定向凝固;待凝固完成80~90%時,轉動坩堝使上層硅熔體在離心力的作用下向坩堝側壁聚集,同時向上層剩余硅熔體頂端中心吹入惰性氣體,使上層剩余硅熔體在氣流的作用下從坩堝中心向側壁聚集并迅速反向凝固,在坩堝側壁處完全凝固;整個硅錠冷卻后去除坩堝側壁凝固得到的上層鑄錠,剩余的鑄錠為高純硅鑄錠,本發明的設備是在原有定向凝固設備的基礎之上增加坩堝旋轉和吹氣的功能,本發明減少了雜質的反擴散,提高了鑄錠的出成率,減少了工藝環節,降低了能耗,設備改造安裝方便,有效去除鑄錠尾部富集的雜質,節約生產周期和成本。?
聲明:
“旋轉和吹氣誘導反向凝固提純多晶硅的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)