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電子束熔煉多晶硅除氧與連續鑄錠的方法及設備

764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:45:35
本發明屬于冶金熔煉領域，特別涉及一種電子束熔煉多晶硅除氧與連續鑄錠的方法及設備，該方法首先將爐體和電子槍抽真空，啟動熔煉用電子槍對多晶硅料進行電子束熔煉，熔煉初步去除雜質氧；在輻射用電子槍作用下保持液態進一步除氧，最后通過水冷傳輸帶引導進入鑄錠裝置中，進行定向長晶鑄錠工藝，得到多晶硅鑄錠，至所有鑄錠裝置中定向長晶鑄錠工藝完成，該設備包括電子束熔煉組件和連續鑄錠組件，包括水冷的熔煉坩堝和該熔煉坩堝一側設有的水冷傳輸帶，鑄錠裝置為3-6臺，固定安裝于旋轉平臺上，本發明首次提出了電子束熔煉除氧的工藝方法和用途，實現了電子束除氧的效果，同時結合連續鑄錠，降低了鑄錠加熱原料所需的能耗，大大提高了生產效率。
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電冶金技術
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