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基于電催化性能提高Cr-Si高阻膜電阻器耐濕熱性能的方法

1165   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:45:27
本發明公開了一種基于電催化性能提高Cr-Si高阻膜電阻器耐濕熱性能的方法，首先以Cr粉、Si粉、Ni粉、Mo粉和W粉為原料，通過粉末冶金法制備Cr-Si基靶材，在中頻真空冶煉爐中分別煉制Cr-Si-Ni靶材、Cr-Si-Ni-Mo靶材和Cr-Si-Ni-W靶材；再將靶材于磁控濺射鍍膜機上制備電阻器高阻膜，并將高阻膜調至阻值為249kΩ，±0.5％；再以納米二氧化硅增強型酚醛-環氧樹脂復合涂料進行封裝。本發明在高溫、高濕條件下的電阻變化率為0.03％～0.16％。
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