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用于微電子互連元件的接觸端頭結構及其制造方法

1051   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:45:02
接觸端頭結構被制備在犧牲襯底上,以便以后連接至互連元件,互連元件包括復合互連元件、單體互連元件、探針板的鎢針、膜板探針的接觸凸臺以及類似元件。端頭結構之間的空間關系可按照平版印刷方式以很高精度公差界定。端頭結構的冶金術與要通過銅焊、鍍敷或類似方法連接的互連元件的冶金術無關。接觸端頭結構可以容易地形成拓撲(小的、精確的、凸出的、非平面的)接觸結構,例如呈截棱錐形,以便此后更好地壓接式電連接至電子元件的端子。本申請描述了細長的接觸端頭結構,其在使用時起到彈性接觸元件的作用,因此不需要連接至彈性接觸元件?？傮w上講,本發明的目的是制造(預制備)較‘精確’的接觸端頭結構(“端頭”)并且將它們連接至較‘不精確’的互連元件,以改進最終形成的“帶端頭的”互連元件的總體能力。
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