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以冶金法去除多晶硅造渣劑中硼元素的方法及制備的再生造渣劑

1053   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:38:21
一種以冶金法去除多晶硅造渣劑中硼元素的方法,將廢棄的多晶硅造渣劑與高純硅料混合后,于中頻感應爐中熔煉,1800~2200℃下攪拌并保溫15~60min,使硼反擴散至硅中,后靜置5~10min,將熔體傾倒至耐火容器中,冷卻,切除硅料的一端,其余部分即為去除硼元素的多晶硅造渣劑。本發明的方法可有效去除多晶硅中的雜質硼元素,使其降低至0.5~2ppmw,可以達到造渣劑的水平,造渣劑的再生利用可降低整條生產線的成本5%以上,并能節約造渣劑成本10%以上。
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