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冶金級單晶硅太陽能電池雙層減反膜鍍膜工藝

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:45
本發明涉及冶金級單晶硅太陽能電池片制造中的鍍膜工藝，尤其是一種冶金級單晶硅太陽能電池雙層減反膜鍍膜工藝。其特點是，包括如下步驟：鍍膜機反應腔體內抽真空；通入氨氣和硅烷，時間15s～20s，控制氨氣流量6300sccm～6400sccm，硅烷流量1400sccm～1500sccm；第一次鍍膜；反應腔體抽真空，再通入氨氣和硅烷，時間為15s～20s，控制氨氣流量7100sccm～7200sccm，硅烷流量600sccm～700sccm；第二次鍍膜；將反應腔體抽真空，然后沖入N2直到常壓即可完成。經過試用證明，本發明工藝結合了氮化硅薄膜各方面的優勢，達到了優勢最大化。
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聲明：
“冶金級單晶硅太陽能電池雙層減反膜鍍膜工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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