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精煉冶金硅的雜質含量檢測分析方法

1142   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:26
本發明公開了一種精煉冶金硅的雜質含量檢測方法,包括如下步驟:(1)在所需檢測的晶棒或晶錠上沿結晶方向選取測量點,測定電阻率,獲得電阻率隨結晶分數分布的實測值;(2)給出每個測量點的硼和磷含量的預估值,算出預估凈余載流子濃度,以及該點的實測凈余載流子濃度;(3)比較各個測量點的凈余載流子濃度實測值和預估值,調整硅材料中的雜質含量預估值,獲得新的每個測量點預估凈余載流子濃度,通過回歸分析法確定硼和磷的雜質含量分布情況;(4)根據各個測量點的雜質分布情況,得出待測材料中的硼和磷的平均雜質含量。本發明能夠準確地測出精煉冶金硅中硼和磷的雜質含量,且操作簡便,成本低廉,適于工業化應用。
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