合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 電冶金技術

> 微波等離子體提純冶金級多晶硅的方法

微波等離子體提純冶金級多晶硅的方法

946   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:36:22
本發明涉及一種微波等離子體提純冶金級多晶硅的方法,該方法包括以下步驟:(1)將冶金級硅粉進行超聲清洗后,室溫下晾干,得到預處理硅粉;(2)將所述預處理硅粉放入微波等離子體提純裝置內的石英管中;(3)將所述石英管抽真空后,通過Ar氣進氣裝置向所述石英管通入Ar氣;(4)20分鐘后,打開電源開關,開啟微波發射源,進行Ar微波等離子體刻蝕實驗,得到提純后的冶金級多晶硅粉體;(5)刻蝕結束后,關閉所述電源開關及所述Ar氣進氣裝置,待所述提純后的冶金級多晶硅粉體自然冷卻后取出,放入清潔無污染的環境中保存即可。本發明不但便于實現大規模的生產應用,而且有效降低了能耗及生產成本,同時也降低了提純的難度。
登錄解鎖全文
聲明:
“微波等離子體提純冶金級多晶硅的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
電冶金技術
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX