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使用冶金級硅制備多孔硅納米線的方法

1274   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:22
本發明涉及一種使用冶金級硅制備多孔硅納米線的方法，它包括以下步驟：（a）將冶金級硅浸入不同有機溶液中，分別超聲處理15~30分鐘；（b）將超聲處理后的冶金級硅浸入氧化溶液中，在50~90℃條件下反應0.5~5小時得氧化冶金級硅；（c）置于質量濃度為10~30%氫氟酸溶液；（d）真空濺射30~60秒得到銀沉積冶金級硅；（e）將所述銀沉積冶金級硅浸入氫氟酸與強氧化物的混合溶液中，在40~80℃條件下超聲1~5小時后取出放入管式爐中通含氟氣體2~3小時并進行干燥；（f）表面進行剝離得到多孔硅納米線。一方面離子濺射儀沉積的銀納米粒子顆粒均勻，有利于在硅納米線上形成孔徑均勻的多孔結構；另一方面縮短時間、提高效率；而且該發明簡單易行，適于大規模生產。
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聲明：
“使用冶金級硅制備多孔硅納米線的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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