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能提升冶金級硅片少子壽命的擴散工藝

962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:58
本發明涉及物理冶金級硅太陽能電池制造過程中的擴散工藝，尤其是一種能提升冶金級硅片少子壽命的擴散工藝。其特點是，包括如下步驟：（1）低溫進舟、初步升溫；（2）通源擴散；（3）恒溫推進；（4）降溫、退舟。本發明的有益效果是：1.采用噴淋式擴散可節省磷源，同時提高擴散結深的均勻性，并且適合做高方阻；2.針對物理冶金硅的特性，采用雙面磷吸雜，增強吸雜效果，提升硅片少子壽命；3.通過溫度與時間的協調，有效改善擴散工藝；4.控制通氧與通源量的比例，減少由于直接擴散引起的缺陷，改善PN結結深，也可改善表面鈍化效果，提高短路電流與開路電壓，進而提升冶金硅太陽能電池轉換效率及成品率。
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