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多晶硅定向提純爐

1576   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:25
本實用新型公開了一種多晶硅定向提純爐，屬于多晶硅的提純領域，用以解決多晶硅熔煉過程中的高溫揮發性雜質對多晶硅定向提純爐、真空泵組造成損害的問題。本實用新型包括爐體和真空抽氣裝置，所述真空抽氣裝置包括真空管路、安裝在真空管路上的比例閥和滑閥泵，真空管路上設置換熱器和過濾器，換熱器、過濾器、比例閥和滑閥泵按照爐體內氣體排出方向依次設置。其解決了爐體內高溫揮發性雜質高溫、沉積從而對爐體的造成損害的問題，延長了整個設備的使用壽命。
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“多晶硅定向提純爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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