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純鎢或鉬薄壁器件的制備方法

1160   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:08
一種純鎢或鉬薄壁器件的制備方法，屬于粉末冶金技術領域。工藝步驟為：以紫銅材質制作所需器件的模板，其表面粗糙度Ra低于6.3并保持表面清潔干燥；將模板放入氣相沉積室內，以六羰基鎢或六羰基鉬為反應有機源，高純氫氣或氮氣為稀釋氣，在沉積室壓力500～10000Pa、沉積溫度280～420℃條件下在模板上進行熱解離氣相沉積，沉積過程中根據沉積壁厚要求每沉積2～4小時進行一次退火。沉積完成后，關閉有機源閥門，繼續通入稀釋氣保持器件降至室溫。將模板表面沉積鎢或鉬的器件采用硝酸腐蝕去除紫銅模板基體，得到壁厚0.1～3mm的純鎢或鉬薄壁器件。優點在于，沉積溫度低，沉積速度快，沉積膜純度高，膜層致密，膜表面的光潔度好，加工流程短，無污染，無腐蝕。
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