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采用硫化物去除工業硅中硼磷雜質的方法

857   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:03
一種采用硫化物去除工業硅中硼磷雜質的方法,涉及工業硅。將渣料預熔;將預熔后的渣料與工業硅混合后放入石墨坩堝,抽真空,當真空度小于500Pa時啟動羅茨泵,使真空在5Pa以下,接著關閉真空閥,通過石墨通氣棒向體系通入Ar氣,使真空度維持在5000～10000Pa;啟動中頻感應電源加熱,待熔化后將石墨通氣棒降至硅液表面上方1～3cm預熱后,通入Ar氣,并將通氣棒插入硅液,通氣攪拌;測量熔液溫度,通過調節中頻頻率使反應溫度維持在1600～1800℃;造渣后將通氣棒升離坩堝,將熔煉完成的熔液澆注入模具中,凝固,得硅錠,完成采用硫化物去除工業硅中硼磷雜質的工作?？刹僮餍詮?適合于產業化。
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