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采用稀土氧化物去除工業硅中硼磷雜質的方法

883   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:00
一種采用稀土氧化物去除工業硅中硼磷雜質的方法,涉及一種半導體材料工業硅。提供一種采用稀土氧化物去除工業硅中硼磷雜質的方法。將工業硅原料和造渣劑放進石墨坩堝;抽真空,啟動中頻感應電源加熱,使石墨坩堝中的硅料和渣料熔化;待石墨坩堝內物料全部熔化后,將坩堝上方的石墨通氣棒預熱;向體系中開始通入惰性氣體,待預熱充分后將通氣棒開始通氣攪拌;渣過程中,通過調整中頻功率,使反應溫度為1550～1850℃;待造渣充分后將通氣棒升離坩堝,然后通過翻轉澆鑄將硅液倒入石墨模具中,靜置,冷卻后取出硅錠,去除頭尾雜質富集部分,得到提純后的多晶硅錠,測量熔煉后的硼、磷雜質含量。
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