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高純多孔硅制備的方法

819   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:37
本發明涉及一種高純多孔硅制備的方法，屬于高純硅制備技術領域。本發明將硅原料粉碎細磨得到硅粉，利用金屬輔助化學刻蝕法在超聲外場條件下對硅粉進行刻蝕預處理，采用洗滌劑清洗掉硅粉表面的金屬納米顆粒，過濾分離、烘干得到多孔硅粉；將多孔硅粉置于RTP爐中進行快速熱處理，得到熱處理多孔硅粉；將熱處理多孔硅粉置于酸液中，在溫度10～80℃下攪拌浸出1～500min，過濾后經洗滌和烘干處理得到高純多孔硅。本方法金屬輔助化學刻蝕協同超聲外場得到的多孔硅粉進行RTP熱處理吸雜，使內部的雜質再次析出暴露，再通過酸液浸出得到高純多孔硅。
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