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鉬氣相沉積成型一體化裝置和方法

731   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:21
本發明公開了一種鉬氣相沉積成型一體化裝置和方法，成型裝置包括鉬源氣化升華區、反應還原區、強化沉積區和在線固結成型區；以氣態三氧化鉬為原料，以均勻氣相還原為基礎，以電場強化定向沉積為核心，實現產品定型和高效沉積和在線固結成型。本發明以物理升華法制備高純MoO3含鉬氣源，突破傳統鉬氣相沉積法以氟化鉬和羰基鉬在原料制備過程中的毒性與沉積過程的污染；以均勻氣相還原實現鉬粒子尺度的精確控制；提供電場的定向作用實現鉬粒子高效定向沉積，顯著提升沉積效率；本發明克服傳統鉬氣相沉積原料毒性、過程氣體污染、效率低、成本高的缺點，實現鉬金屬材料短流程、高效、連續和綠色化制造，對鉬金屬材料成型技術的發展具有顛覆性影響。
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