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具有改進的尖端輪廓的晶體管及其制造方法

1112   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:11
實施例是改進的晶體管結構及該結構的制造方法。具體地,實施例的濕法蝕刻形成具有改進的尖端形狀的源和漏區,以通過改進短溝道效應的控制、增加飽和電流、改進冶金柵長度的控制、增加載流子遷移率并減小源和漏及硅化物之間的界面處的接觸電阻來改進晶體管的性能。
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