本發明屬于冶金提純技術領域,特別涉及一種取尾料進行定向凝固提純多晶硅的方法及設備。該方法是在惰性氣體中,將硅料熔化形成硅熔體保溫;進行定向凝固;待凝固完成85~90%時,停止拉錠,將石英管伸入剩余硅熔體中,之后用真空裝置對石英管另一端抽真空,剩余硅熔體在壓力差作用下進入石英管中,繼續向下拉錠,待坩堝離開加熱區后,將尾料收集箱伸至石英管正下方;切斷電源,停止加熱,石英管脹裂后隨尾料下落至尾料收集箱中,坩堝得到的鑄錠為高純硅鑄錠。本發明防止了雜質的反擴散,減少了工藝,提高了鑄錠的出成率,在凝固結束階段實現雜質富集區的直接分離,該設備改造安裝方便,操作簡單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質,節約了生產周期和成本。
聲明:
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