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熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質的方法

889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:08
一種熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質的方法，涉及多晶硅材料的提純方法。提供一種選擇性高、工藝簡單的熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質的方法。Si-M合金陽極的制備，電解質預處理，電解槽組裝，熔鹽電解提純多晶硅。采用真空熔煉Si-M合金，作為可溶性陽極；以復合氯化物-氧化物復合熔鹽作為新型低溫電解質體系；以金屬、硬質合金、太陽能級多晶硅或高純石墨作為陰極。進一步降低了電解溫度和電解電壓，保證了電解過程的高效、穩定、低能耗運行，對多晶硅中雜質元素B和P的高選擇性提純。
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