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高純鈷靶材的制備方法

996   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:05
本發明提供的高純鈷靶材的制備方法，包括：將鈷粉裝入模具；冷壓成型；真空熱壓燒結。與傳統的通過高真空電子束熔煉爐獲得高純鈷錠、然后對鈷錠反復進行塑性變形和退火制得鈷靶坯的工藝相比，本發明通過粉末冶金的真空熱壓燒結技術直接由粉末制得鈷靶坯，獲得致密且分布均勻的可用于半導體靶材制造用的鈷靶坯，克服了鈷靶材由于質地堅硬易碎，而在塑性變形加工過程中容易產生裂紋而導致報廢率高的問題。
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