本發明公開了一種無源真空維持合金的制備方法及其應用,材料合金配方如下:合金配方的主體元素為52wt%?63wt%,Y為5wt%?30wt%,Mo為18?22wt%,W為0.1wt%?5wt%,Re為0.1wt%?4wt%,所述Hf為0?1.8wt%,所述Nb為0?1.8wt%,所述Ni為0.1wt%?1.8wt%。將純度為99.5~99.95%的原材料,按上述合金配方進行配料,其原材料分別為Ti、Zr、Y、Mo、W、Re、Hf、Nb、Ni,對配料進行熔煉制得無源真空維持合金的合金靶坯;或者用粉末冶金燒結法制得合金靶坯,將合金靶坯進行機械加工,制得所述2英寸~12英寸的合金靶材。本發明用制備的合金,其比表面高和孔隙度大,源于合金中加入了具有d電子軌道的W、使得合金的吸氣平衡壓降低,有利于合金的吸氣性能,能夠有效的維持無源。
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