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制備鉬鈦合金濺射靶材的方法

924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:51
本發明公開了一種制備鉬鈦合金濺射靶材的方法，該方法為：一、用多孔篩篩選出海綿鈦；二、將鉬粉和篩選出的海綿鈦進行機械混合得到混合料；三、將制成的混合料和平均粒度不超過15mm的海綿鈦按照下層海綿鈦、中層混合料和上層海綿鈦的順序進行布料，壓制后制成鉬鈦合金電極；四、將制備的鉬鈦合金電極置于真空自耗電弧熔煉爐中進行熔煉，得到鉬鈦合金鑄錠；五、將鉬鈦合金鑄錠經過表面處理后，切割成特定形狀的鉬鈦合金濺射靶材。本發明制備的鉬鈦合金靶材較傳統粉末冶金方法制備的合金靶材具有工藝簡單、成本低、尺寸可調范圍廣的特點，而且制備的合金靶致密、成分均勻性良好，品質穩定，適合大批量工業化生產。
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聲明：
“制備鉬鈦合金濺射靶材的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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