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去除多晶硅中雜質磷和金屬雜質的方法及裝置

864   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:32:47
本發明一種去除多晶硅中雜質磷和金屬雜質的方法及裝置,屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域,特別涉及一種利用電子束熔煉技術將多晶硅中的雜質磷和金屬雜質去除的方法。用電子束熔煉和感應加熱相互配合的方式,完成對多晶硅的熔煉和凝固過程。用高純硅粉平鋪在水冷銅底座填滿石英坩堝的鏤空空間;將多晶硅料裝入石英坩堝中,關閉真空裝置蓋;抽真空過程,先用機械泵、羅茲泵將真空室抽到低真空,再用擴散泵將真空抽到高真空;所用的裝置由真空裝置蓋、真空圓桶構成裝置的外殼,真空圓桶內腔即為真空室,真空室內裝有熔煉系統。本發明有效提高了多晶硅的純度,具有效率高、裝置簡單、節約能源的優點。
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