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電子束淺熔池熔煉提純多晶硅的設備

915   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:44
本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅領域。一種電子束淺熔池熔煉提純多晶硅的設備,設備由真空蓋及真空爐壁構成真空設備,真空設備的內腔即為真空室;真空室底部固定安裝熔煉支撐底座,熔煉支撐底座上安裝有套環,熔煉支撐底座內安裝有水冷升降托盤,周圍套環一側開有導流口,導流口下方安裝有拉錠機構,在真空室的上部安裝電子槍,電子槍束流對準水冷升降托盤上方。本實用新型設備結構簡單,直接使用大塊硅料作為原料以及周圍的套環形成淺熔池,綜合電子束淺熔池熔煉和定向凝固去除硅中的雜質磷和金屬。減少了能量的損失,提高了生產效率,去除效果良好,集成了除磷和除金屬的雙重效果,適合大規模工業化生產。
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