權利要求書： 1.一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置，其特征在于，其包括：吸附柱殼體(W1)，所述吸附柱殼體(W1)的頂部和底部均為封閉狀；所述吸附柱殼體(W1)的外壁纏繞有外盤管(W9)；所述吸附柱殼體(W1)的上部設有吸附劑進口(W7)；所述吸附柱殼體(W1)底部設置吸附劑卸放口，所述吸附劑卸放口上連接有吸附劑卸放管(W5)，所述吸附柱殼體(W1)的下部設有進料管式分布器(W2)，所述吸附柱殼體(W1)的上部設有出料管式分布器(W3)，所述吸附柱殼體(W1)的上部設有尾氣出口過濾管(W4)。2.如權利要求1所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置，其特征在于，所述進料管式分布器(W2)包括進料管式分布管道和設置在進料管式分布管道上用于攔截作用的過濾帽(W6)，進料管式分布管道與吸附柱殼體(W1)的物料進口之間相連接；所述出料管式分布器(W3)包括出料管式分布管道和設置在出料管式分布管道上用于攔截作用的過濾帽(W6)，出料管式分布管道與吸附柱殼體(W1)的物料出口之間相連接。3.如權利要求2所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置，其特征在于，所述出料管式分布管道的結構與進料管式分布管道的結構相對稱，所述進料管式分布管道包括主管(21),主管(21)的兩端為封閉端；所述主管(21)的兩側分別按間隔設有若干支管(22)，支管(22)與主管(21)相互垂直連通，且支管(22)的末端為封閉狀；同一側的若干支管(22)通過連接板(23)相固定；每個支管(22)上按間隔設有若干銳孔，每個銳孔上連接有過濾帽(W6)；所述主管(21)上連接有料管(24)，用于進料或出料。4.如權利要求3所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置，其特征在于，所述過濾帽(W6)包括絲桿(61)和與絲桿相連接的帽頭(62)，所述絲桿(61)與銳孔相連接。5.如權利要求4所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置，其特征在于，所述帽頭(62)的直徑為70mm，過濾縫隙為0.25mm，帽頭(62)的高度為100mm；絲桿(61)采用外螺紋M32，高度為55mm。6.如權利要求1所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置，其特征在于，所述尾氣出口過濾管(W4)的末端為封閉狀，尾氣出口過濾管(W4)的表面均布開設通孔(41
聲明：
“用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：管理員
來源：福建技術師范學院
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2025年07月09日 ~ 11日 
