權利要求書： 1.一種三氯化硼的制造方法，通過碳化硼和氯氣之間的反應來制造三氯化硼，包含以下的脫水工序和生成工序，脫水工序：在350℃以上且比通過碳化硼和氯氣之間的反應而開始生成三氯化硼的生成開始溫度低的溫度下，使含有氯氣并且水分含量為1體積ppm以下的含氯氣體與碳化硼接觸，從而使所述碳化硼中含有的水分與所述含氯氣體中的氯氣反應、除去所述碳化硼中含有的水分，生成工序：將經所述脫水工序被脫水了的所述碳化硼與氯氣反應而生成三氯化硼。
2.如權利要求1所述的三氯化硼的制造方法，所述含氯氣體是與含有沸石的干燥劑接觸過的。
3.如權利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述脫水工序中使所述含氯氣體與所述碳化硼接觸的溫度為400℃以下。
4.如權利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述脫水工序在比大氣壓低的壓力下進行。
5.如權利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述含氯氣體由20體積％以上且60體積％以下的氯氣和余量的惰性氣體組成。
6.如權利要求5所述的三氯化硼的制造方法，所述惰性氣體為氮氣、氬氣和氦氣中的至少一者。
7.如權利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述碳化硼是從開孔5.60mm的干式篩子通過后的篩下量為100質量％，不能從開孔1mm的干式篩子通過的篩上量為65質量％以上的粉體。
8.如權利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述生成工序中碳化硼和氯氣之間的反應溫度為800℃以上且1100℃以下。
9.如權利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，還包含以下的水分量評價工序：在反應容器內進行所述脫水工序，測定在所述脫水工序中從所述反應容器排到的排出氣體中的水和氯化氫中的至少一者的量，來評價所述反應容器內的水分量。
說明書： 三氯化硼的制造方法技術領域[0001] 本發明涉及三氯化硼的制造方法。背景技術[0002] 作為三氯化硼(BCl3)的制造方法，將硼酸(B(OH)3)擔載在活性炭上，使其與氯氣(Cl2)發生反應的方法(參照例如專利文獻1、2)、使碳化硼(B4C)和氯氣發生反應的方法(參照例如專利文獻3)是大家知道的。這些三氯化硼的制造方法，如果反應體系內存在水分，則有生成的三氯化硼發生水解使三氯化硼的制造效率降低的問題。此外有以下問題：三氯化硼的水解生成
聲明：
“三氯化硼的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：昭和電工株式會社
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2025年07月24日 ~ 26日 
